特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。并成為當(dāng)今試驗室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源，氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)，并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定

1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點經(jīng)修補后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。所有可能泄漏點應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。系統(tǒng)測試完畢，應(yīng)充入高純氮氣，并進(jìn)行吹掃。測試完畢后，應(yīng)提交測試報告。

特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應(yīng)注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應(yīng)輕裝輕卸，嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體（如氮氣、二氧化碳等）進(jìn)行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時，應(yīng)對氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Ｗo措施。不要使用損壞的設(shè)備，如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥，并有良好通風(fēng)，嚴(yán)禁明火和其它熱源，嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙，氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒，應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。